Zephyr , po zamontowaniu na maszynach CMM, zapewniają maksymalną rozdzielczość wynoszącą 15 µm. W przypadku zastosowania skanerów Skyline na ramieniu pomiarowym można osiągnąć maksymalną rozdzielczość wynoszącą 25 µm. Takie poziomy rozdzielczości pozwalają skanerom uchwycić nawet najdrobniejsze szczegóły elementów, w tym faktury, grawerunki, oznaczenia i etykiety. Dla porównania: grubość ludzkiego włosa wynosi około 70 µm.